可编程，RS485接口,压力达500psi, ±1%精度
DMF系列数字质量流量控制器可对不同气体的流量进行编程,记录,分析和控制.控制器采用了直管传感器和限流元件,这保证了层流气体流量的精度与重复性。DMF系列不受温度和压力变化的影响。
控制器可以针对不同的控制器功能进行编程,包括设定流量值,累计,终止累计,从预定值累计,终止和预定总数,自动调零等等.自动调零特性采用了自动调零调整电路,这实际上消除了零漂和量程漂移，此外,DMF系列控制器带有两个干式触点对泵,阀门和其它设备进行控制。
DMF系列的特点是有一自整定功能,它可以使对一定压力小的特定气体的调节达到最优，在开机时就进行自诊断测试,从而保证控制器工作在最优工况下。控制器中储存了多达10种的气体校准信息和256种不同气体的转换因数，气体流量高低速限制警报器经由RS-485接口进行编程.流量模式有相应软件的支持，它允许执行多达十条指令的自定义程序。
规格
介质：与接液部件兼容的清洁气体
接液材质： 316不锈钢,416不锈钢,Viton® O型密封圈
精度： 满量程时±1%包括线性以上59-77°F (5-25°C) 和5-60psia(0.35-4bar);
满量程时±2% 32-122°F (0-50°C) 和5-150psia (0.3-10bar)
重复性： 满量程的±0.15%
反应时间： 在20%-100%满量程以上设定点的±2%以内是0.6-1.0秒
输出： 线性0-5VDC(2000Ω小负载阻抗);0-10VDC(4000Ω小负载阻抗)
最大微粒尺寸：100微米
工作温度： 41-122°F (5-50°C)
电源： ±15VDC;最大功率13.5瓦
过程连接： 流速≤50L/m压缩接头是1/4 英寸；100和200L/m是3/8英寸
压力范围： 500psig(34.5bar)
泄漏率： 氦气的1 x 10-7 sccs
计算机连接: RS-485
认证： CE
型号
| 流量范围 | 型号 |
| 0-10 SCCM | DMF-41401 |
| 0-20 SCCM | DMF-41402 |
| 0-50 SCCM | DMF-41403 |
| 0-100 SCCM | DMF-41404 |
| 0-200 SCCM | DMF-41405 |
| 0-500 SCCM | DMF-41406 |
| 0-1 L/min | DMF-41407 |
| 0-2 L/min | DMF-41408 |
| 0-5 L/min | DMF-41409 |
| 0-15 L/min | DMF-41411 |
| 0-30 L/min | DMF-41431 |
| 0-50 L/min | DMF-41433 |
| 0-100 L/min | DMF-41842 |
流量量程是由当氮气在70°F (21°C)@760mmHg的条件下标定的
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